超深度形状測定顕微鏡(カラーレーザ顕微鏡)

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超深度形状測定顕微鏡(カラーレーザ顕微鏡)、形状測定、膜厚測定

 

項目 内容
機器名 超深度形状測定顕微鏡(カラーレーザ顕微鏡)
利用の仕方  
使用料No
分類 表面・内部観察機器
担当 電子技術部
仕様 観察倍率50~16000倍/リアルカラー3次元表面解析機能/表面形状測定分解能0.01μm
用途 3次元形状測定/膜厚測定
手数料No
/試験名
E1150,E1151
製造社名 (株)キーエンス
規格 VK8500
導入年度 平成15年度

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