超深度形状測定顕微鏡（カラーレーザ顕微鏡）
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超深度形状測定顕微鏡（カラーレーザ顕微鏡）、形状測定、膜厚測定
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 機器名 | 超深度形状測定顕微鏡（カラーレーザ顕微鏡） |
| 利用の仕方 | |
| 使用料Ｎｏ | |
| 分類 | 表面・内部観察機器 |
| 担当 | 電子技術部 |
| 仕様 | 観察倍率50～16000倍/リアルカラー3次元表面解析機能/表面形状測定分解能0.01μm |
| 用途 | ３次元形状測定／膜厚測定 |
| 手数料Ｎｏ ／試験名 |
E1150,E1151 |
| 製造社名 | （株）キーエンス |
| 規格 | VK8500 |
| 導入年度 | 平成15年度 |
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