超深度形状測定顕微鏡(カラーレーザ顕微鏡)
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超深度形状測定顕微鏡(カラーレーザ顕微鏡)、形状測定、膜厚測定
項目 | 内容 |
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機器名 | 超深度形状測定顕微鏡(カラーレーザ顕微鏡) |
利用の仕方 | |
使用料No | |
分類 | 表面・内部観察機器 |
担当 | 電子技術部 |
仕様 | 観察倍率50~16000倍/リアルカラー3次元表面解析機能/表面形状測定分解能0.01μm |
用途 | 3次元形状測定/膜厚測定 |
手数料No /試験名 |
E1150,E1151 |
製造社名 | (株)キーエンス |
規格 | VK8500 |
導入年度 | 平成15年度 |
- 「使用料」とは
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