表面構造解析評価装置(SEM用EDX装置)
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がつけてあります。
SEM用EDX装置(Scanning Electron Microscope – Energy Dispersive X-ray Spectroscopy : 走査型電子顕微鏡用エネルギー分散型X線分析装置)、微小部元素分析装置
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 機器名 | SEM用EDX装置 |
| 利用の仕方 | |
| 使用料Ｎｏ | |
| 分類 | 表面・内部観察機器 |
| 担当 | 機械・材料技術部 |
| 仕様 | 分析元素B～U／分解能133eV |
| 用途 | 試料表面に含まれる元素の種類やその面内分布を調べることができます。 |
| 手数料Ｎｏ ／試験名 |
E0021/(SEM-EDXによる）元素分析 |
| 製造社名 | EDS分析装置システム：日本電子（株） |
| 規格 | JSM-6320F用 |
| 導入年度 | 平成20年度 |
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