走査電子顕微鏡(SEM)

この装置について
 電子銃から発生した電子線と呼ばれる特殊な光線を観察したい試料に照射して、試料の形状を観察する装置です。波長の短い電子線を用いることで、数万倍~十数万倍といった高倍率で観察することが可能です。また、観察している箇所の元素分布や結晶構造の解析が可能な付属機器が装着されており、形状だけでなく物質の状態を総合的に知ることができます。
用途・特徴について
 機械部品や半導体・電子デバイス等の高性能化が進むにつれて、大きさが1ミクロン(1ミリの1000分の1)未満の世界の物質の状態を評価するニーズがますます高まっています。最近、10年ぐらいの間に走査電子顕微鏡の性能は格段に進化し、手軽に超高倍率における物質の状態を調査できるようになりました。技術開発、新製品開発にご活用下さい。
名称・型番について
電子顕微鏡本体:日本電子(株) JSM-7800F Prime
元素分析装置:オックスフォードインストゥルメンツ(株) AZtec Energy
結晶構造解析装置:オックスフォードインストゥルメンツ(株) AZtec HKL
利用するには

 依頼試験、受託研究でご利用いただきます。費用は内容によって異なりますので、担当部署までご相談ください。

【問い合わせ先】機械・材料技術部 材料物性チーム