簡易型走査電子顕微鏡

この装置について
 タングステンフィラメントタイプの走査電子顕微鏡(SEM)で、CCD画像(光学画像)とSEM像が連動する機能を有し、低倍率(光学)から高倍率観察(SEM)まで、同一の観察視野のまま連続的な観察が可能です(Zeromag機能)。

 観察倍率は×5~300,000 で、分解能は高真空モードで3.0nm(30kV)、8.0nm(3kV)、15.0nm(1kV)、低真空モードで4.0nm(30kV)です。

 また、導電性の無い物質の観察に適した低真空モード(10~100Pa)での観察や、高真空モードでの観察、エネルギー分散型X線分析装置(EDS)によるホウ素(B)からウラン(U)までの元素分析や観察面の元素マッピングも可能です。

 さらに、複数のSEM画像を自動的に重ね合わせ、広範囲の合成画像を作成する機能(モンタージュ機能)を有しており、広範囲のSEM画像を得ることも可能です。
用途・特徴について
 観察可能な最大試料サイズはΦ150mm×48mmtで、比較的大型の試料もそのまま観察することが可能です。

 また、異物等の解析を行う場合は、CCD画像による広範囲の観察で異物の存在箇所を特定するとともに、特定した異物について、同一視野の拡大によるSEM観察やEDSによる元素分析を一連の作業で行うことが可能です。
名称・型番について
簡易型走査電子顕微鏡 日本電子(株)製:JSM-IT200LA 
利用するには

本装置は依頼試験や受託研究でご利用いただけます。詳細な利用方法については、担当までお問合せください。

【問い合わせ先】機械・材料技術部 ナノ材料グループ