減圧熱処理装置

お客様ご自身が使用して、試作・分析を行える機器は 『利用の仕方』欄にご利用OKがつけてあります。

減圧熱処理装置

 

項目 内容
機器名 減圧熱処理装置
利用の仕方 試験計測(依頼試験)、技術開発受託(受託研究)等、御相談ください。
使用料No
分類 生産加工機器
担当 電子技術部
仕様 最高加熱温度1000℃/抵抗加熱方式横型炉/ウエハサイズ3インチ以下/導入可能ガス 酸素(O2)、窒素(N2)、アルゴン(Ar)、水素(H2)/クラス1,000クリーンルーム内設置
用途 減圧下において水素ガス等を導入し、加熱することにより、熱処理を行います。
手数料No
/試験名
製造社名 三栄理研(株)
規格 三栄理研製(特別仕様)
導入年度 平成元年度

  • 「使用料」とはご利用OKのついた機器をご使用いただいたときの料金です。ご利用OKのある機器でも、使用条件によって料金が変わる場合は空欄となっています。そのような機器の使用料は、お問い合わせ下さい。
  • 「手数料」とは当研究所職員がお客様のご依頼を受けて試験等を実施する場合の料金です。この他にオーダーメードでもお受けできます。
  • 「試験名」とは当機器を利用して行う試験等の名称で、クリックすると詳細説明がご覧になれます。