減圧溶射微粒子作成装置アーク加熱式超微粒子生成装置(ナノ粒子生成装置)
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ナノ粒子作製装置(ガス中蒸発法:アーク加熱式)、GD(ガスデポジション)装置
項目 | 内容 |
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機器名 | ナノ粒子作製装置(ガス中蒸発法:アーク加熱式) |
利用の仕方 | |
使用料No | |
分類 | 生産加工機器 |
担当 | 機械・材料技術部 |
仕様 | アーク加熱式ガス中蒸発法/アーク加熱電源DC24V×300A/到達圧力6.7×10-2Pa/基板形状最大4inch/基板加熱温度最高400℃ |
用途 | 不活性ガス中で原料金属を加熱・蒸発させることにより、金属ナノ粒子を作製することができます。また、酸素含有ガスを使用すれば、酸化物ナノ粒子の作製も可能です。さらに、生成したナノ粒子を基板上に堆積させ、微細パターンを形成することもできます。
不活性ガス中での高融点金属超微粒子の作成/酸化物超微粒子の作成/微細パターンの形成/5vol%水素-Heガス導入可 |
手数料No /試験名 |
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製造社名 | 真空冶金(株) |
規格 | 特注 |
導入年度 | 平成07年度 |
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