減圧溶射微粒子作成装置アーク加熱式超微粒子生成装置（ナノ粒子生成装置）

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ナノ粒子作製装置（ガス中蒸発法：アーク加熱式）、GD(ガスデポジション)装置

 

項目 内容
機器名 ナノ粒子作製装置（ガス中蒸発法：アーク加熱式）
利用の仕方
使用料Ｎｏ
分類 生産加工機器
担当 機械・材料技術部
仕様 アーク加熱式ガス中蒸発法／アーク加熱電源DC24V×300A／到達圧力6.7×10-2Pa／基板形状最大4inch／基板加熱温度最高400℃
用途 不活性ガス中で原料金属を加熱・蒸発させることにより、金属ナノ粒子を作製することができます。また、酸素含有ガスを使用すれば、酸化物ナノ粒子の作製も可能です。さらに、生成したナノ粒子を基板上に堆積させ、微細パターンを形成することもできます。

不活性ガス中での高融点金属超微粒子の作成／酸化物超微粒子の作成／微細パターンの形成／5vol%水素-Heガス導入可
手数料Ｎｏ
／試験名
製造社名 真空冶金(株)
規格 特注
導入年度 平成07年度
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  • 「手数料」とは当研究所職員がお客様のご依頼を受けて試験等を実施する場合の料金です。この他にオーダーメードでもお受けできます。
  • 「試験名」とは当機器を利用して行う試験等の名称で、クリックすると詳細説明がご覧になれます。