イオンプレーティング装置
お客様ご自身が使用して、試作・分析を行える機器は 『利用の仕方』欄に
がつけてあります。
イオンプレーティング装置
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 機器名 | イオンプレーティング装置 |
| 利用の仕方 | |
| 使用料Ｎｏ | |
| 分類 | 生産加工機器 |
| 担当 | 電子技術部 |
| 仕様 | 到達真空度：2×10-5Pa以下基板加熱温度：600℃蒸着用電子銃：3元、10kw高周波電圧：2kwバイアス電圧：3kwバイポーラパルス |
| 用途 | 金属、合金、酸化物、窒化物の成膜 表面処理 |
| 手数料Ｎｏ ／試験名 |
|
| 製造社名 | 昭和真空 |
| 規格 | SIP-700 |
| 導入年度 | 平成14年度 |
- 「使用料」とはのついた機器をご使用いただいたときの料金です。のある機器でも、使用条件によって料金が変わる場合は空欄となっています。そのような機器の使用料は、お問い合わせ下さい。
- 「手数料」とは当研究所職員がお客様のご依頼を受けて試験等を実施する場合の料金です。この他にオーダーメードでもお受けできます。
- 「試験名」とは当機器を利用して行う試験等の名称で、クリックすると詳細説明がご覧になれます。