in-plane X線回折法による薄膜・基板などの最表面のスペクトル測定
in-plane X線回折法とは?
X線回折法(XRD)では基板や薄膜などへX線を入射して、反射X線回折から結晶構造の評価を行う。例えばシリコン基板でのX線の侵入深さは40ミクロン近くになる。しかし、基板上で単結晶成長させる場合などは、基板の最表面の結晶状態が重要になってくる。最表面を観察するためにはX線を基板すれすfれに入射するin-plane法という手法がある(図1)。
- 図1 通常のXRDとin-planeによるXRD測定
in-plane X線回折法による薄膜・基板などの最表面のスペクトル測定
基板は同じ材料から切り出しても、その後の表面研磨ににより最表面の結晶性が異なり、結晶成長も異なってくる。最表面の結晶情性を評価するために、in-planeのロッキングカーブを測定した。ロッキンカーブとは試料をロッキングチェアーのように揺らしながらX線回折を測定する’もので、結晶の揃いを評価できる。図2にIn-plnaeによって得られたロッキンングカーブ測定の一例を示した。本試料は結晶性が良いため、4結晶という光学系を用いた高精度なin-plnae測定を行なっている。図2 の赤丸が実験値で青線がフィッテイングにカーブである。
フィッティング から本試料のロッキングカーブ半値幅が0.00386度程度であることが分かった。
フィッティング から本試料のロッキングカーブ半値幅が0.00386度程度であることが分かった。
- 図2 in-plane ロッキンカーブの一例
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参考料金は以下の通りです。
料金表 (試験計測料金)
項目番号 | 項目 | 単位 | 手数料 |
---|---|---|---|
E2510 | X線回折試験 (I) | 1試料につき | 22,770 |
E2520 | X線回折試験 (II) | 1試料につき | 34,210 |
E2530 | X線回折試験 (III) | 1試料につき | 52,910 |
E2540 | X線回折試験 (IV) | 1試料につき | 85,200 |
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参考・関連リンク
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多目的X線回折装置
ご活用いただける業種、分野等
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基板メーカー、薄膜作製、コーティング
最表面での結晶観察、非破壊膜厚評価、非破壊多層膜評価
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4結晶の光学系や受光側には2次元半導体検出器を備えています。
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