三次元座標測定機による機械部品等の精密測定

1台めは、接触式で、大型高精度を特徴したZEISS UPMC850（図1）です。
接触式三次元座標測定機は測定空間内において空間3軸を自由に移動できる接触子を測定対象に接触させ、その時の接触子の三次元座標を取り込み、得られた点群座標情報を測定機が設定した三次元空間に再現することで、任意の位置の任意の形状（面、軸、穴等）から基準を適時に設定することができ、必要とする箇所の寸法測定を効率よく迅速に行うことができます。

2台目は、マルチセンサー式で、接触センサー、カメラセンサー、非接触高さセンサーの3種類のセンサーを特徴としたZEISS O-INSPECT442（図2）です。
通常の接触式として利用が可能ですが、カメラセンサーで水平方向を、非接触高さセンサーで垂直方向を、非接触で測定することができます。接触式では測定が困難な、微細形状、薄物、ゴム製品、電子基板、印刷物の精密測定が可能です。

長さや穴直径等の寸法測定（図3）や、平面度、平行度、真円度等の幾何公差の評価（図4）が可能です。

また、3D CADデータとの比較測定（図5）が可能ですので、複雑な曲面での形状誤差も確認できます。
製品納品前の検査や、機械装置不具合の原因調査、加工方法や加工手順の検討に利用されています。