FE-TEM(電界放出型透過電子顕微鏡)による透明導電膜の解析

単結晶基板上に作製した透明導電膜の結晶性や析出物の有無などを断面方向から観察し、薄膜の構造を明らかにしました。

測定例

通常のTEM観察より薄片化しなければ、高分解能観察ができないことから、低エネルギーイオンミリングを使用。

<使用機器・作業工程>
作製方法:FIB-マイクロプロービング法
作製装置:FIB(集束イオンビーム装置)
最終加工:低エネルギーイオンミリング装置
観察装置:FE-TEM(電界放射型透過電子顕微鏡)

<納期>
担当職員にお問い合わせください。

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  • 図1 透明導電膜観察像
  • 図1 透明導電膜観察像

ご利用を希望される方へ

同様の事例については、 試験計測(依頼試験) でご利用いただけます。

参考料金は以下の通りです。

料金表 (試験計測料金)

項目番号項目単位手数料
K1625TEM試料調製 FIB-マイクロプロービング法 低加速ガリウムイオン低加速ガリウムイオン仕上げ 1試料につき110,000
K1425TEM試料調製 低エネルギーイオンミリング (ジェントルミル)1試料1条件につき13,200
K1450電界放出型分析透過電子顕微鏡(FE-TEM)50万倍を超えて200万倍以下倍率  50万倍を超えて200万倍以下 1視野につき31,900
K1451電界放出型分析透過電子顕微鏡(FE-TEM)200万倍を超えるもの倍率 200万倍を超えるもの 1視野につき46,200

観察条件および撮影枚数により費用は変わりますので、詳細は担当職員にお問い合わせください。ご要望に応じて見積書を作成いたします。

詳細はお問い合わせください。

参考・関連リンク

今回のFE-TEM(電界放出型透過電子顕微鏡)による透明導電膜の解析の事例については、以下の関連ページもご参照ください。 【★動画でご紹介!】透過電子顕微鏡(YouTube公式チャンネル)
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