FE-TEM（電界放出型透過電子顕微鏡）による透明導電膜の解析

単結晶基板上に作製した透明導電膜の結晶性や析出物の有無などを断面方向から観察し、薄膜の構造を明らかにしました。

通常のTEM観察より薄片化しなければ、高分解能観察ができないことから、低エネルギーイオンミリングを使用。

＜使用機器・作業工程＞
作製方法：FIB-マイクロプロービング法
作製装置：FIB（集束イオンビーム装置）
最終加工：低エネルギーイオンミリング装置
観察装置：FE-TEM（電界放射型透過電子顕微鏡）

＜納期＞
担当職員にお問い合わせください。

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• 図1　透明導電膜観察像

同様の事例については、 試験計測（依頼試験） でご利用いただけます。

参考料金は以下の通りです。

料金表 (試験計測料金)

項目番号	項目	単位	手数料
K1625	TEM試料調製　FIB-マイクロプロービング法 低加速ガリウムイオン	"低加速ガリウムイオン仕上げ　１試料につき"	110,000
K1425	TEM試料調製　低エネルギーイオンミリング　（ジェントルミル）	１試料１条件につき	13,200
K1450	電界放出型分析透過電子顕微鏡（FE-TEM）50万倍を超えて200万倍以下	倍率　 50万倍を超えて200万倍以下　１視野につき	31,900
K1451	電界放出型分析透過電子顕微鏡（FE-TEM）200万倍を超えるもの	倍率　200万倍を超えるもの　１視野につき	46,200

観察条件および撮影枚数により費用は変わりますので、詳細は担当職員にお問い合わせください。ご要望に応じて見積書を作成いたします。

詳細はお問い合わせください。