透明導電膜のTEM観察事例

単結晶基板上に作製した透明導電膜の結晶性や析出物の有無などを断面方向から観察し、薄膜の構造を明らかにしました。
通常のTEM観察より薄片化しなければ、高分解能観察ができないことから、低エネルギーイオンミリングを使用。

<使用機器>

  1. 分析透過電子顕微鏡(FE-TEM/EDS)
  2. 集束イオンビーム装置(FIB)
  3. 低エネルギーイオンミリング装置(Gentle Mill)

<作業工程>

FIB-マイクロプロービング法による試料作製  →  低エネルギーイオンミリング  →  TEM観察

<納期>

担当職員にお問い合わせください。

測定例

透明導電膜測定例
透明導電膜測定例

ご利用を希望される方へ

このページのご紹介内容は、試験計測(依頼試験)でご利用いただけます。

観察条件および撮影枚数により費用は変わりますので、詳細は担当職員にお問い合わせください。
ご要望に応じて見積書を作成いたします。

料金表(単位欄にメーカー・型式を表記している場合:機器使用料金(特に記載がない限り単位は1時間あたり))
料金NO.項目単位(又はメーカー・型式)料金
K1625TEM試料調製 FIB-マイクロプロービング法 低加速ガリウムイオン低加速ガリウムイオン仕上げ 1試料につき112,090円
K1425TEM試料調製 低エネルギーイオンミリング (ジェントルミル)1試料1条件につき13,530円
K1450電界放出型分析透過電子顕微鏡(FE-TEM)50万倍を超えて200万倍以下倍率  50万倍を超えて200万倍以下 1視野につき32,340円
K1451電界放出型分析透過電子顕微鏡(FE-TEM)200万倍を超えるもの倍率 200万倍を超えるもの 1視野につき46,970円

関連リンク

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  • 担当:川崎技術支援部