スパッタ成膜
スパッタ成膜、スパッタリング、薄膜、成膜、プラズマ
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 試験名 | スパッタ成膜 |
| 手数料Ｎｏ | E1158 |
| 分類 | 機械装置、電気・電子部品等の性能評価試験／電気・電子関係の試験／半導体関係の試験 |
| 内容 | 薄膜の種物質(ターゲットという)にアルゴンイオンをぶつけて、その際にたたき出された種物質を基板に堆積することによって薄膜を作製します。 |
| 補足説明 | |
| 使用機器例 | |
| 試験対象 | 電子材料 |
| 備考 | 標準１試料当たり |
| 担当 | 電子技術部 |
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