SEM観察・EDS分析
電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM/EDS)
概要
高分解能であることに加え、焦点深度が深く、広範囲に焦点の合った立体的な像を得ることができます。主に薄膜の表面・断面、金属材料の破断面観察、微小領域での局所分析などに対応します。
装置
装置 | 機器名 |
---|---|
FE-SEM | (株)日立ハイテクノロジーズ S-4800
|
EDS | EDAX Genesis2000 |
その他 | 透過電子検出器,EBIC像観察ユニット |
立会い観察分析も可能です。
♣ 撮影箇所や分析箇所を指定でき、欲しい情報が的確に得られます。
♣ データを受取るだけでは得られない多くの情報を得る事ができます。
♣ 画像データはその場でお渡しできます。
エネルギー分散型X線分析装置による分析例
二次電子像
Sn
Fe
Si
Pb
Ni
Cu
はんだ付けされたIC断面の面分析結果
解析例
川崎技術支援部
TEL:044-819-2105 FAX:044-819-2108
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