SEM観察･EDS分析

装置

立会い観察分析も可能です。

♣ 撮影箇所や分析箇所を指定でき、欲しい情報が的確に得られます。
♣ データを受取るだけでは得られない多くの情報を得る事ができます。
♣ 画像データはその場でお渡しできます。

特長

• 材料の表面形態観察を三十倍から数十万倍の範囲で観察できます。
• 光学顕微鏡に比べて焦点深度が深いので、凹凸のある試料でも観察が可能です。
• 付属のEDSにより元素分析が可能ですので、付着物や変色部分などトラブルシューティングにおいても威力を発揮します。
• 低加速電圧での高倍率観察や走査透過電子顕微鏡（STEM）観察が可能です。

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応用例

♦ 薄膜の表面・断面観察
♦ 破面観察
♦ 微小領域での局所分析