TEM/EDS観察分析
電界放出型走査電子顕微鏡（FE-TEM/EDS）
概要
♠数千倍から数百万倍まで、広範囲の倍率で試料の微細構造観察ができます。
♠EDS分析により数nmの分解能で元素分析が行うことができます。
♠電子線回折や暗視野像からは試料の結晶情報が得られます。
装置
| 装置 | 機器名/仕様 |
|---|---|
| FE-TEM | トプコンテクノハウス EM002BF
・格子分解能 ： 0.10ｎｍ ・観察モード ： 明視野像、暗視野像、高分解能像 |
| EDS（エネルギー分散型X線分析装置） | サーモフィッシャーサイエンティフィック NORAN System SIX（検出器2台装備） ・最小分析領域 ： 0.3ｎｍ |
| STEM | トプコンテクノハウス ASD-2B2 ・観察モード ： 明視野像、暗視野像、HAADF |
特長
♣2台のEDSを搭載することで、X線分析の収集効率と精度が格段に向上し、これまでより短時間に詳細な分析が可能です。
♣従来のEDS分析では困難であった元素の組み合わせでも最新のピーク分離機能により面分析が可能になりました。
♣AADF-STEM像（高角度散乱暗視野像）での像強度は原子番号の二乗に比例するため、軽い原子と比較して重い原子が選択的に観察できます。
立会い観察分析も可能です。
♦撮影箇所や分析箇所を指定でき、欲しい情報が的確に得られます。
♦データを受取るだけでは得られない多くの情報を得る事ができます。
♦画像データはその場でお渡しできます。
応用例とその試料調整法
♣プラスチック中の微細添加物の分析 → ミクロトーム法
♣カーボンナノチューブの高分解能観察 → ふりかけ法
♣金属の結晶構造（格子像）観察 → 電解研磨法
♣光ディスクの断面観察 → FIB加工
♣化合物半導体の高分解能観察 → FIB加工 – 低加速イオンミリング法
♥ FIBにFE-SEMを搭載、高倍率観察による精密加工に対応。
♥FIB加工後に低加速Arイオンミリングでのクリーニング対応。
加工時のダメージ層除去により、高品位なTEM観察試料作製が可能です。
♥最大200mm試料面内の特定箇所からのTEM試料作製が可能。
STEM/EDS分析による重なり合う特性X線の面分析
従来のEDS分析では困難であった元素の組み合わせでも最新のピーク分離機能により面分析が可能になりました。
解析例
川崎技術支援部
ＴＥＬ：044-819-2105 ＦＡＸ：044-819-2108
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