表面・成分分析サービス
表面分析は試料表面の数分子層(数nm)を分析対象とし、その他の分析は深さ方向数ミクロンオーダーの分析を行います。表面分析ではイオンスパッタリングと併用することにより、多層膜や付着物の深さ方向分析も行うことができます。
分析を行うために、X線、イオン、電子、赤外線を入射しますが、それぞれ特徴があり、目的により使い分けることが必要です。
分析機器
高度計測センターに設置されている表面・成分分析装置の比較
装置 | µ-XPS µ-ESCA |
FT-IR | XRF |
---|---|---|---|
1次ビーム | X線 | 赤外線 | X線 |
検出信号 | 電子 | 赤外線 | X線 |
分析広さ | 9µm~1.5mm | 数10µm~ | 200µm~ 3mm |
分析深さ | 数nm※ | 数µm | 数µm~ 数10µm |
深さ方向の 分解能 |
数nm | - | - |
絶縁物測定 | 可能 | 可能 | 可能 |
分析可能 元素、情報 |
Li ~ U | - | Mg~U (Heパージ使用時 Na~U) |
分析情報 | 化学結合状態 | 主に有機物の構造 | 元素情報のみ |
画像 | 可能 | - | 可能 |
※スパッタリングを併用することにより深さ方向分析が可能
川崎技術支援部
TEL:044-819-2105 FAX:044-819-2108
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