微小蛍光X線分析装置(XRF)
概要
蛍光X線(XRF)分析装置は、試料にX線を照射し発生する蛍光X線を測定することで元素の確認(定性)や、検出された各元素のピーク強度を理論計算(FP法)することで大まかな含有量(半定量)を得ることができる装置です。
金属,半導体,有機物及びセラミックスとあらゆる固体に対応でき、元素情報を得るための入り口的な装置として、中小企業から大企業の多種多様なニーズに対応できる装置です。
原理

仕様
メーカー | SIIナノテクノロジー | |
---|---|---|
型式 | SEA6000VX HSFinder | |
仕様 | X線源 | 空冷式小型X線管球(Wターゲット)、コリメータ方式 |
X線照射向き | 上面照射 | |
分析領域 | 200μm,500μm,1.2mm,3mm, | |
分析元素 | Mg~U (Heパージ使用時 Na~U) | |
試料室 | 580(W)×450(D)×150(H)mm | |
マッピング面積 | 250×200mm |
本装置の特徴
♦ 大きい試料も非破壊で測定
♦ 微小からバルクまでの分析領域
♦ 広範囲の高速マッピング
測定事例 :メモリー基板のマッピング分析


解析例
川崎技術支援部
TEL:044-819-2105 FAX:044-819-2108
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