微小蛍光Ｘ線分析装置（XRF）

概要

蛍光Ｘ線(XRF)分析装置は、試料にＸ線を照射し発生する蛍光Ｘ線を測定することで元素の確認（定性）や、検出された各元素のピーク強度を理論計算(FP法)することで大まかな含有量（半定量）を得ることができる装置です。

金属，半導体，有機物及びセラミックスとあらゆる固体に対応でき、元素情報を得るための入り口的な装置として、中小企業から大企業の多種多様なニーズに対応できる装置です。

原理

仕様

本装置の特徴

♦ 大きい試料も非破壊で測定
♦ 微小からバルクまでの分析領域
♦ 広範囲の高速マッピング

測定事例 ：メモリー基板のマッピング分析

試料像

マッピング重ね合せ：赤（Cu），緑（Ag），青（Pb）

解析例

金属製品の素材確認