イオンミリングを活用しためっき層のＳＥＭ観察
測定例
試料：Au/Niめっき/Cu母材
SEM分解能：2nm@1kV
目的に対し前処理が不十分だと必要な情報が得られない
応用例
307,200nm2中、約130個のピンホールが存在
観察において前処理は重要な工程 → 正しい情報を捉えることで様々な評価が可能
納期予定
サンプル到着後、1週間から10日で結果速報。
利用料金項目
| 項目 | 単位 | 数量 |
|---|---|---|
| 試料前処理 | 処理時間30分につき |
4 |
| 断面試料作製用イオンミリング装置 | 1試料につき |
1 |
| 分析走査電子顕微鏡（FE-SEM）
観察倍率 5万倍未満 |
1試料1視野観察につき |
1 |
| 同一試料において1視野追加観察につき | 1 |
※定量評価については別途相談。
川崎技術支援部
ＴＥＬ：044-819-2105 ＦＡＸ：044-819-2108
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