金めっき異常部の解析
測定例
めっき異常部の表面観察＆分析
試料：Auめっき/Niめっき/Cu母材
→ 内部を観察するため、FIB断面加工へ
めっき異常部の断面解析
FIB-SEMにより断面を作製
めっき異常部断面の観察
・付着物ではなく、内部から噴出した腐食生成物？
・金めっきに無数のボイド
めっき異常部断面の元素分析（面分析）
めっき異常部断面の元素分析（面分析）
NiとAu界面にClを含むNi酸化物が存在
めっきの異常部解析
～結果～
・付着物ではなく、めっき内部から噴出
・Auめっきに無数のボイド
・Au/Ni界面にClを含むNi酸化物が存在
～推定原因～
・Auめっき前の洗浄不足によりClが残留？
・Auめっきのボイドから下地(Ni)へOが供給
腐食生成物がめっき表面に形成
納期予定
サンプル到着後、1週間から10日で結果速報。
利用料金項目
| 項目 | 単位 | 数量 | |
|---|---|---|---|
| 試料前処理 | 処理時間30分につき | 1 | |
| 集束イオンビーム装置（ＦＩＢ-ＳＥＭ） | ＦＩＢ | 1時間以内 | 1 |
| 追加1時間あたり | 1 | ||
| ＳＥＭ | 1試料1視野観察につき | 1 | |
| 同一試料において1視野追加観察につき | 2 | ||
| ＥＤＳ | 面分析1視野につき（5元素まで） | 1 | |
| 面分析1元素追加につき | 1 | ||
川崎技術支援部
ＴＥＬ：044-819-2105 ＦＡＸ：044-819-2108
ＴＥＬ：044-819-2105 ＦＡＸ：044-819-2108