金めっき異常部の解析
測定例
めっき異常部の表面観察&分析
試料:Auめっき/Niめっき/Cu母材
→ 内部を観察するため、FIB断面加工へ
めっき異常部の断面解析
FIB-SEMにより断面を作製
めっき異常部断面の観察
・付着物ではなく、内部から噴出した腐食生成物?
・金めっきに無数のボイド
めっき異常部断面の元素分析(面分析)
めっき異常部断面の元素分析(面分析)
NiとAu界面にClを含むNi酸化物が存在
めっきの異常部解析
~結果~
・付着物ではなく、めっき内部から噴出
・Auめっきに無数のボイド
・Au/Ni界面にClを含むNi酸化物が存在
~推定原因~
・Auめっき前の洗浄不足によりClが残留?
・Auめっきのボイドから下地(Ni)へOが供給
腐食生成物がめっき表面に形成
納期予定
サンプル到着後、1週間から10日で結果速報。
利用料金項目
項目 | 単位 | 数量 | |
---|---|---|---|
試料前処理 | 処理時間30分につき | 1 | |
集束イオンビーム装置(FIB-SEM) | FIB | 1時間以内 | 1 |
追加1時間あたり | 1 | ||
SEM | 1試料1視野観察につき | 1 | |
同一試料において1視野追加観察につき | 2 | ||
EDS | 面分析1視野につき(5元素まで) | 1 | |
面分析1元素追加につき | 1 |
川崎技術支援部
TEL:044-819-2105 FAX:044-819-2108
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