光学多層薄膜上の異常部の解析

光学多層薄膜上の異常部の元素分析

→　１、２に明瞭な違い無し。内部に問題か？？

異常部をＦＩＢにて断面加工

→　異常部の最下層に異物を発見！！

異常部断面の元素分析（面分析）

成膜前の基板上の異物が原因と考えられる

納期予定

サンプル到着後、1週間から10日で結果速報。

利用料金項目

項目		単位	数量
試料前処理		処理時間30分につき	1
集束イオンビーム装置（ＦＩＢ-ＳＥＭ）	ＦＩＢ	1時間以内	1
		追加1時間あたり	1
	ＳＥＭ	1試料1視野観察につき	1
		同一試料において1視野追加観察につき	4
	ＥＤＳ	面分析1視野につき（5元素まで）	1
		面分析1元素追加につき	1