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材料の成分

観察	分析	加工	内容	装置
○	○		材料の局所分析	FE-SEM/EDS
	○		材料の定性分析	XRF
	○		RoHS指令などの環境規制物質のスクリーニング分析	XRF
	○		結晶性無機物質の定性分析	XRD
○	○		材料の最表面の元素分析	AES・SAM
	○		材料の最表面の状態分析	µ-XPS・µ-ESCA
	○		樹脂・ゴムの成分分析	FT-IR
	○		油・グリスの成分分析	FT-IR

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形状観察

観察	分析	加工	内容	装置
○			低倍率（0～200倍）からの試料観察	デジタルマイクロスコープ
○			光学顕微鏡による表面、断面観察	マクロ撮影イメージングシステム 金属顕微鏡
○	○		高倍率観察（30～数100,000倍）	FE-SEM/EDS
○	○		超高分解能観察（数1,000～数1,000,000倍）	FE-TEM/EDS
			ミクロンオーダー表面の凹凸の測定	表面形状粗さ測定機
○			ナノオーダー表面の凹凸、形状観察	SPM
○		○	数µm～数10µmの範囲での断面観察	FIB
○	○	○	数10nm～数10µmの範囲での断面観察	FIB/SEM/EDS

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金属組織観察・分析

観察	分析	加工	内容	装置
○			金属組織観察	金属顕微鏡

破断面

観察	分析	加工	内容	装置
○			外観観察による調査	マクロ撮影イメージングシステム 金属顕微鏡 FE-SEM

錆び・腐食

観察	分析	加工	内容	装置
○			金属組織観察による材料の調査	金属顕微鏡
○	○		錆・腐食部の元素分析	FE-SEM/EDS AES・SAM
	○		錆・腐食物の状態分析	µ-XPS・µ-ESCA
○	○	○	錆・腐食部の断面観察・元素分析	FIB/SEM/EDS

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接点不良、導通不良

観察	分析	加工	内容	装置
○	○		めっきの最表面元素分析	AES・SAM
	○		めっきの最表面元素・状態分析	µ-XPS・µ-ESCA
○	○		接点付着物分析	FE-SEM/EDS AES・SAM µ-XPS・µ-ESCA
	○		有機系付着物分析	FT-IR

内部欠陥の非破壊検査

観察	分析	加工	内容	装置
○			内部の亀裂、空孔、剥離などの欠陥検査	µフォーカスX線検査装置 超音波顕微鏡

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異物・付着物

観察	分析	加工	内容	装置
○	○		ナノオーダーの異物分析・局所分析	FE-TEM/EDS
	○		異物・付着物の成分分析	FT-IR µ-XPS・µ-ESCA
○	○		異物・付着物の観察・元素分析	FE-SEM/EDS AES・SAM
	○		異物の元素分析	XRF
○	○	○	異物、付着物の断面加工・観察・分析	FIB/SEM/EDS

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しみ・変色

観察	分析	加工	内容	装置
○	○		しみ・変色部の観察・元素分析	FE-SEM/EDS AES・SAM
	○		しみ・変色の元素分析・状態分析	µ-XPS・µ-ESCA

メッキ・薄膜・多層膜の膜厚・層構造

観察	分析	加工	内容	装置
○			層構造・膜厚の観察	金属顕微鏡
○	○	○	めっき成分、不良部の断面加工・観察・分析	FIB/SEM/EDS
○	○		膜厚・層構造の観察・測定	FE-SEM/EDS
○	○	○		FIB/SEM/EDS
○		○	サブミクロンオーダーの膜厚・層構造の観察・測定	FIB/SEM/EDS
○	○		ナノオーダーの膜厚・層構造の観察・測定・分析	FE-TEM/EDS

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薄膜の分析

観察	分析	加工	内容	装置
	○		薄膜・コーティング層の状態分析	FT-IR
○	○		表面元素分析・深さ方向分析	AES・SAM
	○		表面元素・状態分析	µ-XPS・µ-ESCA

薄膜・多層膜の深さ方向分析

観察	分析	加工	内容	装置
	○		薄膜、多層膜の分析	AES・SAM µ-XPS・µ-ESCA

結晶性・結晶欠陥

観察	分析	加工	内容	装置
	○		結晶性薄膜の定性分析、配向性の確認	XRD
○	○		結晶・面方位の電子線回折測定 転位の超高分解能観察	FE-TEM/EDS

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硬度測定

観察	分析	加工	内容	装置
			ナノオーダーの薄膜硬度測定	薄膜硬度計 < ナノインデンター>
			硬度測定	各種硬度計

精密加工

観察	分析	加工	内容	装置
○		○	1～150μm角の材料表面マーキング	レーザーマーカ
○	○	○	TEM/SEM/AES用の試料加工 数µm～数10µm程度の微細加工	FIB/SEM/EDS FIB
		○	TEM/SEM用の試料の最表面クリーニング	精密イオン研磨装置