【募集終了】第８回 「ナノファブスクエア」開催のご案内（会場：NANOBIC）

日　  時

２０１７年１０月１９日（木）　　１３：３０～１６：３０

場　  所

かわさき新産業創造センター（KBIC）新館 NANOBIC

（川崎市幸区新川崎7-7 新川崎・創造のもり ＪＲ新川崎駅から徒歩１０分）

講  　師

塚原　剛彦
（東京工業大学科学技術創成研究院先導原子力研究所　准教授）

実習内容

プラズマを使ったガラスの深掘りエッチングについて、原理の講習と、実際に装置を使った実習会を行います。

実習機器

高密度プラズマドライエッチング装置　NLD-570†
†アルバック株式会社製。石英・ｶﾞﾗｽ・金属酸化物などをﾌﾟﾗｽﾞﾏを使って高速に深掘り（100 mm以上）可能。ｶﾞﾗｽ基板上への流路作製、ﾎﾟﾘｼﾞﾒﾁﾙｼﾛｷｻﾝ（PDMS）へ転写する鋳型の作製などが可能です。機器詳細仕様は「NANOBICオープンラボ」ホームページ http://open-labo.skr.jp/ の機器一覧をご覧ください。

主  　催

４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム、
（地独）神奈川県立産業技術総合研究所（KISTEC）、川崎市

共　  催

次世代マイクロ化学チップコンソーシアム

定　  員

５名程度（先着）

参 加 費

１万円（実費）

申込書

機器利用実習申込書（参加申込）
＊講習実習会申込書（参加申込）をダウンロードして戴き必要事項をご記入後、下記申込先のメールアドレスへお送りください。

申込先

技術担当　唐澤 志郎
Tel：080-6560-3061／E-mail : karasawa＊newkast.or.jp
(地独) 神奈川県立産業技術総合研究所