高周波スパッタリング装置

用途・特徴について

薄膜作成

ご利用方法

試験計測(依頼試験) で利用できます。

 *試験計測(依頼試験)の詳細についてはこちらをご確認ください。

 *技術開発受託(受託研究) の詳細についてはこちらをご確認ください。

手数料または使用料NO.

この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。

メーカー

小林理化器械株式会社

型番

SPF-210

仕様

ターゲット径4インチ/逆スパッタ機構付

導入年度

1985

 

  • この装置に関連するお問い合わせ
  • 担当:電子技術部 
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