マグネトロンスパッター装置

用途・特徴について

薄膜製造

ご利用方法

試験計測(依頼試験) で利用できます。

 *試験計測(依頼試験)の詳細についてはこちらをご確認ください。

 *技術開発受託(受託研究) の詳細についてはこちらをご確認ください。

手数料または使用料NO.

この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。

■ 料金表 (試験計測料金)

項目番号項目単位手数料(円)
E1158スパッタ成膜 標準1試料当たり47,410

メーカー

日電バリアン株式会社

型番

SPF-210H

仕様

高周波スパッタ

導入年度

1978

 

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