非接触ミクロン厚さ測定機

用途・特徴について

梁や板の部分の厚み及び穴の深さ及び段差を非接触(光学式)で局所的に測定できます。MEMSサンプルの寸法測定に有効。

手数料または使用料NO.

この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。

メーカー

ユニオン光学株式会社

型番

THS-1

仕様

深さ方向測定分解能0.1μm、厚さ測定範囲0~10mm、光学式焦点位置検出方式

導入年度

1998

 

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