高分解能分析走査電子顕微鏡(FE-SEM/EDS)

この装置について


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最新の高性能電子光学系により、金属や半導体、セラミクス、有機物、磁性材料など様々な試料に対し、低倍率から高分解能観察まで行うことができる電子顕微鏡です。

検出器を多数付属していることから組成像、凹凸像など様々な画像を取得することができます。元素分析装置も搭載しており、試料の元素同定や分布など有用な情報も得ることができます。

用途・特徴について

・ 光学顕微鏡では得られない焦点深度の深い観察が行えます。
・ 80倍から50万倍まで幅広い領域の観察が行えます。
・ 付属のEDS分析装置で試料の組成や分布がわかります。
・ 低真空モードを使用することで、絶縁材料等を無蒸着で観察できます。
・ STEM検出器を用いた透過像の観察が可能です。
・ GBモードを使用すると、極低加速電圧で微細構造を観察することができます。

立会い観察分析も可能です。
♣ 撮影箇所や分析箇所を指定でき、欲しい情報が的確に得られます。
♣ データを受取るだけでは得られない多くの情報を得る事ができます。
♣ 画像データはその場でお渡しできます。

応用例とその試料調製法
・ めっきの断面観察&分析 → 断面作製用イオンミリング装置
・ 高分子材料の観察 → ウルトラミクロトーム
・ 金属組織観察 → 断面作製用イオンミリング装置
・ ガラス、樹脂の破面観察 → その他

ご利用方法

試験計測(依頼試験) , 技術開発受託(受託研究) で利用できます。

 *試験計測(依頼試験)の詳細についてはこちらをご確認ください。

 *技術開発受託(受託研究) の詳細についてはこちらをご確認ください。

手数料または使用料NO.

この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。

■ 料金表 (試験計測料金)

項目番号項目単位手数料(円)
K1310高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 5万倍以下観察倍率5万倍以下 1試料1視野観察につき19,800
K1315高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 5万倍以下1視野追加観察倍率5万倍以下 同一試料において1視野追加観察につき4,400
K1320高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 5万倍を超えて10万倍以下観察倍率5万倍を超えて10万倍以下  1試料1視野観察につき28,600
K1325高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 5万倍を超えて10万倍以下 1視野追加観察倍率5万倍を超えて10万倍以下 同一試料において1視野追加観察につき8,800
K1330高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 10万倍を超えるもの観察倍率10万倍を超えるもの 1試料1視野観察につき50,600
K1335高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 10万倍を超えるもの 1視野追加観察倍率10万倍を超えるもの 同一試料において1視野追加観察につき14,300
K1392高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 10~15視野1試料の観察視野が10~15視野につき(観察倍率関係なし。ただし、設定可能な試料に限る)110,000
K1395高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 16~30視野1試料の観察視野が16~30視野につき(観察倍率関係なし。ただし、設定可能な試料に限る)165,000
K1342高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 低真空モード低真空モードの使用11,000
K1343高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 STEM透過像観察機能(STEM)の使用11,000
K1340高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 1条件追加1条件追加につき11,000
K1345高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 ArクリーナーArクリーナーの使用10分につき2,200
K1350高分解能分析FE-SEM エネルギー分散型X線分析装置(EDS) 点分析点分析1視野1箇所につき16,500
K1351高分解能分析FE-SEM エネルギー分散型X線分析装置(EDS) 点分析追加点分析同一視野内で1箇所追加につき5,500
K1352高分解能分析FE-SEM エネルギー分散型X線分析装置(EDS) 線分析線分析1視野1箇所につき22,000
K1353高分解能分析FE-SEM エネルギー分散型X線分析装置(EDS) 線分析追加線分析同一視野内で1箇所追加につき8,360
K1354高分解能分析FE-SEM エネルギー分散型X線分析装置(EDS) 面分析面分析1視野につき33,000
K1356高分解能分析FE-SEM エネルギー分散型X線分析装置(EDS) 各種データ処理各種データ処理1条件につき5,500

メーカー

日本電子株式会社

型番

JSM-7800F Prime

仕様

FE-SEM分解能:0.7nm(15kV)、0.7nm(1kV)、3.0nm(5kV、WD10mm、5nA) 検出器:上方検出器(UED)、上方二次      電子検出器(USD)、下方検出器(LED)、反射電子検出器(BED) 試料交換サイズ:100mm径(最大)
EDSサーモフィッシャーサイエンティフィック NORAN System 7
その他STEM観察、低真空観察、GB観察
分析モード点分析、線分析、面分析
分析対象元素B~U

導入年度

2014

 

  • この装置に関連するお問い合わせ
  • 担当:川崎技術支援部 微細構造解析グループ
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