電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM/EDS）

この装置について

用途・特徴について

材料の表面形態観察を三十倍から数十万倍の範囲で観察できます。
光学顕微鏡に比べて焦点深度が深いので、凹凸のある試料でも観察が可能です。
付属のEDSにより元素分析が可能ですので、付着物や変色部分などトラブルシューティングにおいても威力を発揮します。
低加速電圧での高倍率観察や走査透過電子顕微鏡（STEM）観察が可能です。

立会い観察分析も可能です。
♣ 撮影箇所や分析箇所を指定でき、欲しい情報が的確に得られます。
♣ データを受取るだけでは得られない多くの情報を得る事ができます。
♣ 画像データはその場でお渡しできます。

♦ 薄膜の表面・断面観察
♦ 破面観察
♦ 微小領域での局所分析

ご利用方法

試験計測（依頼試験） , 機器使用 , 技術開発受託（受託研究） で利用できます。

　*試験計測（依頼試験）の詳細についてはこちらをご確認ください。

　*機器使用の詳細についてはこちらをご確認ください。

　*技術開発受託（受託研究） の詳細についてはこちらをご確認ください。

手数料または使用料NO.

この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。

■ 料金表 (試験計測料金)

項目番号	項目	単位	手数料（円）
K1010	電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）　５万倍以下	観察倍率５万倍以下　１条件につき	20,350
K1015	電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）　　 ５万倍以下　条件追加	観察倍率５万倍以下　１条件追加につき	4,510
K1020	電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）　　 ５万倍を超えて10万倍以下	観察倍率５万倍を超えて10万倍以下　１条件につき	29,370
K1025	電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）　　 ５万倍を超えて10万倍以下　条件追加	観察倍率５万倍を超えて10万倍以下　１条件追加につき	9,020
K1030	電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）　　 10万倍を超えるもの	観察倍率10万倍を超えるもの　１条件につき	51,920
K1035	電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）　　 10万倍を超えるもの　条件追加	観察倍率10万倍を超えるもの　１条件追加につき	14,630
K1050	電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）　SEM観察　10～15視野	１試料の観察視野が10～15視野につき（観察倍率関係なし。ただし、設定可能な試料に限る）	113,080
K1052	電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）　SEM観察　16～30視野	１試料の観察視野が16～30視野につき（観察倍率関係なし。ただし、設定可能な試料に限る）	169,840
K1055	電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）　SEM観察 条件追加	１条件追加につき	11,220
K1040	FE-SEM　エネルギー分散型Ｘ線分析装置（EDS）	１条件につき	14,850
K1041	FE-SEM　エネルギー分散型Ｘ線分析装置（EDS）　条件追加	１条件追加につき	4,510
K1042	FE-SEM　エネルギー分散型Ｘ線分析装置（EDS）　面分析	面分析１条件につき	16,060

■ 料金表 (機器使用料金)

項目番号	設備機器名	メーカー・型式	使用料（円）
K2015	FE-SEM/EDS　S-4800　（１時間あたり）	日立ハイテクノロジーズ S-4800	38,610

メーカー

株式会社日立ハイテクノロジーズ

型番

S-4800

仕様

FE-SEM	二次電子像分解能 ： 1.0nm（15kV），1.4nm（1kVリターディングモード） 試料交換サイズ ： 100mm径（最大）
EDS	EDAX　Genesis2000
その他	透過電子検出器，EBIC像観察ユニット

導入年度

平成26年度