ECRプラズマエッチング装置
用途・特徴について
ドライエッチング加工ご利用方法
試験計測(依頼試験) で利用できます。*試験計測(依頼試験)の詳細についてはこちらをご確認ください。
*技術開発受託(受託研究) の詳細についてはこちらをご確認ください。
手数料または使用料NO.
この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。■ 料金表 (試験計測料金)
項目番号 | 項目 | 単位 | 手数料(円) |
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E1190 | ECRプラズマエッチング | 標準1試料当たり | 48,070 |
メーカー
株式会社ダイヘン型番
ESQF-20L仕様
プラズマ発生方式;電子サイクロトロン共鳴/マイクロ波出力;1KW/RFバイアス;100W/最高磁束密度;2000Gauss/試料サイズ;3inch/試料加熱温度;400℃
導入年度
平成3年度- この装置に関連するお問い合わせ
- 担当:電子技術部 電子材料グループ
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