ＥＣＲプラズマエッチング装置

用途・特徴について

ドライエッチング加工

ご利用方法

試験計測（依頼試験） で利用できます。

　*試験計測（依頼試験）の詳細についてはこちらをご確認ください。

　*技術開発受託（受託研究） の詳細についてはこちらをご確認ください。

手数料または使用料NO.

この機器を使用した料金表の項目は以下の通りです。

■ 料金表 (試験計測料金)

項目番号	項目	単位	手数料（円）
E1190	ＥＣＲプラズマエッチング	標準１試料当たり	48,070

メーカー

株式会社ダイヘン

型番

ESQF-20L

仕様

プラズマ発生方式；電子サイクロトロン共鳴／マイクロ波出力；1KW／RFバイアス；100W／最高磁束密度；2000Gauss／試料サイズ；3inch／試料加熱温度；400℃

導入年度

平成3年度