高周波スパッタリング装置

用途・特徴について

薄膜作成

ご利用方法

試験計測（依頼試験） で利用できます。

　*試験計測（依頼試験）の詳細についてはこちらをご確認ください。

　*技術開発受託（受託研究） の詳細についてはこちらをご確認ください。

メーカー

小林理化器械株式会社

型番

SPF-210

仕様

ターゲット径4インチ／逆スパッタ機構付

導入年度

昭和60年度