高周波スパッタリング装置 用途・特徴について 薄膜作成 ご利用方法 試験計測(依頼試験) で利用できます。 *試験計測(依頼試験)の詳細についてはこちらをご確認ください。 *技術開発受託(受託研究) の詳細についてはこちらをご確認ください。 メーカー 小林理化器械株式会社 型番 SPF-210 仕様 ターゲット径4インチ/逆スパッタ機構付 導入年度 昭和60年度 この装置に関連するお問い合わせ 担当:電子技術部 その他の技術相談はこちらから