高周波スパッタリング装置

【用途・特徴】
薄膜作成

用途・特徴について

薄膜作成

ご利用方法

試験計測(依頼試験) で利用できます。

 *試験計測(依頼試験)の詳細についてはこちらをご確認ください。

 *技術開発受託(受託研究) の詳細についてはこちらをご確認ください。

メーカー

小林理化器械株式会社

型番

SPF-210

導入年度

昭和60年度
  • この装置に関連するお問い合わせ
  • 担当:電子技術部 
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