減圧熱処理装置

用途・特徴について

減圧下において水素ガス等を導入し、加熱することにより、熱処理を行います。

ご利用方法

試験計測（依頼試験） , 技術開発受託（受託研究） で利用できます。

　*試験計測（依頼試験）の詳細についてはこちらをご確認ください。

　*技術開発受託（受託研究） の詳細についてはこちらをご確認ください。

メーカー

三栄理研株式会社

型番

特別仕様

仕様

最高加熱温度1000℃／抵抗加熱方式横型炉／ウエハサイズ3インチ以下／導入可能ガス　酸素(O₂)、窒素(N₂)、アルゴン(Ar)、水素(H₂)／クラス1,000クリーンルーム内設置

導入年度

平成元年度