減圧熱処理装置
用途・特徴について
減圧下において水素ガス等を導入し、加熱することにより、熱処理を行います。ご利用方法
試験計測(依頼試験) , 技術開発受託(受託研究) で利用できます。*試験計測(依頼試験)の詳細についてはこちらをご確認ください。
*技術開発受託(受託研究) の詳細についてはこちらをご確認ください。
メーカー
三栄理研株式会社型番
特別仕様仕様
最高加熱温度1000℃/抵抗加熱方式横型炉/ウエハサイズ3インチ以下/導入可能ガス 酸素(O2)、窒素(N2)、アルゴン(Ar)、水素(H2)/クラス1,000クリーンルーム内設置
導入年度
平成元年度- この装置に関連するお問い合わせ
- 担当: 電子材料グループ
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