超音波映像装置による電子部品の内部空隙の観察

超音波映像装置とは?

超音波映像装置は、電子部品などの様々な材料・構造物の内部欠陥について、超音波により非破壊検査できる装置です。

パワーデバイスやMEMSデバイスなどの電子部品の内部には貼り合わせシリコンウエハが用いられています。
この貼り合わせシリコンウエハを作成するとき、貼り合わせ工程において界面に空隙が発生することがあります。
そこで、ある貼り合わせシリコンウエハの界面の様子について、超音波映像装置を用いて観察しました(写真1)。

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  • 写真1 測定の様子
  • 写真1 測定の様子

※測定中は、サンプルを水中に沈めておく必要があります。

超音波映像装置による電子部品の内部空隙の観察

超音波映像装置による測定の結果、貼り合わせシリコンウエハの界面の複数箇所に空隙があることがわかりました(図1)。

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  • 図1 測定結果
  • 図1 測定結果


※白く見える箇所が空隙です。

さらに、画像解析により、貼り合わせシリコンウエハの界面の中央部において空隙が27個、空隙の面積率が約2.1%であることがわかりました(図2)。

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  • 図2 画像解析例
  • 図2 画像解析例


このような測定を様々な条件で作製したサンプルについて実施し比較・検討することにより、密着性が良好な貼り合わせシリコンウエハの作製条件がわかりました。

ご利用を希望される方へ

同様の事例については、 試験計測(依頼試験) でご利用いただけます。

参考料金は以下の通りです。

料金表 (試験計測料金)

項目番号項目単位手数料
E0990非破壊超音波映像撮影1時間当たり9,240
E0991非破壊超音波映像撮影(データ解析のみ)1解析当たり 3,630

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