断面イオンミリング法 (小さい試料用)

イオンミリング法は、イオンミリング装置を用いて、サンプルをアルゴンイオンビームで、イオン研磨することにより加工歪の少ないサンプルを作製できます。
イオンミリング装置の液体窒素冷却機能を使用することで、ハンダや樹脂といった熱による変形等を伴うサンプルの断面作製も可能です。


・機種名:Ilion+(Gatan社)
・加速電圧:1kV~6kV
・冷却温度:液体窒素冷却、温度調節機構あり
・試料サイズ:担当職員にお問い合わせください。

料金について

料金表番号試験名単位料金
K4230断面イオンミリング法 (小さい試料用)  A:容易な試料1試料につき24,090円
K4232断面イオンミリング法 (小さい試料用)  B:標準的な試料1試料につき47,300円
K4234断面イオンミリング法 (小さい試料用)  C:複雑な試料1試料につき72,490円
K4236断面イオンミリング法 (小さい試料用)  D:非常に複雑な試料1試料につき92,620円
K4237断面イオンミリング法 (小さい試料用)  条件追加1条件追加につき5,830円
K4238断面イオンミリング法 (小さい試料用)  クライオクライオの使用 1試料につき5,830円

担当部署

川崎技術支援部 微細構造解析グループ

分類

溝の口支所 試験計測 | 試料前処理 | 試料前処理
  • この試験に関連するお問い合わせ
  • 担当:川崎技術支援部 微細構造解析グループ