酸化拡散試験

項目 内容
項目番号 E1120
単位 1時間当たり
手数料 24,750円
担当部署 電子技術部 
分類 機械装置、電気・電子部品等の性能評価試験
内容 酸素や水蒸気を利用し、Si(シリコン)ウェハへ熱酸化により、酸化膜の形成を行います。また、Siウエハの不純物拡散を行います。
補足説明 4インチウェハに対応(推奨は3インチまで)/温度範囲400~1200℃/ドライ酸化、ウエット酸化
該当する機器名 酸化拡散装置
試験対象 Siウェハ
備考 1時間当たり
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