スパッタ成膜

項目 内容
項目番号 E1158
単位 標準1試料当たり
手数料 48,730円
担当部署 電子技術部 
分類 機械装置、電気・電子部品等の性能評価試験
内容 薄膜の種物質(ターゲットという)にアルゴンイオンをぶつけて、その際にたたき出された種物質を基板に堆積することによって薄膜を作製します。
補足説明
該当する機器名 マグネトロンスパッター装置
試験対象 電子材料
備考 標準1試料当たり
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