平面イオンミリング法　（大きい試料用）

イオンミリング法は、イオンミリング装置を用いて、サンプルをアルゴンイオンビームで、イオン研磨することにより加工歪の少ないサンプルを作製できます。
特殊ホルダーを使用することで、EBSDなどの平面イオンミリングとしても使用することができます。


・機種名：クロスセクションポリッシャー（IB-19520CCP）日本電子株式会社製
・加速電圧：1kV～8kV
・冷却温度：液体窒素冷却、温度調節機構あり
・試料サイズ：担当職員にお問い合わせください。

料金について

料金表番号	試験名	単位	料金
K4260	平面イオンミリング法　（大きい試料用）　　A：容易な試料	１試料につき	11,220円
K4262	平面イオンミリング法　（大きい試料用）　　B：標準的な試料	１試料につき	21,340円
K4264	平面イオンミリング法　（大きい試料用）　　C：複雑な試料	１試料につき	31,350円
K4266	平面イオンミリング法　（大きい試料用）　　D：非常に複雑な試料	１試料につき	41,800円
K4267	平面イオンミリング法　（大きい試料用）　　条件追加	１条件追加につき	5,390円

担当部署

川崎技術支援部　微細構造解析グループ

分類

溝の口支所　試験計測　|　試料前処理　|　試料前処理