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X線光電子分光分析装置（XPS）[model5500]
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分析透過電子顕微鏡（FE-TEM/STEM/EDS）[Talos F200X]
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超深度形状測定顕微鏡（カラーレーザ顕微鏡）
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金属顕微鏡 [Nikon OPTIPHOT-2]
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走査電子顕微鏡（汎用SEM/EDS/LV）[JSM-IT200LA]
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走査電子顕微鏡（電界放出型・FE-SEM/EDS/EBSD）[JSM-7800F Prime]
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