微細構造観察

機械・材料技術部
電子技術部
川﨑技術支援部
海老名
溝の口
FE-SEM　装置の外観
FE-SEM　装置の外観

概要

外観観察や金属組織観察により特定された物質表面の異物及び微細構造等について、電子線を用いて数10倍から数十万倍までの倍率で観察します。またEDX検出器による観察視野の元素分析、イオンミリング加工と組み合わせた断面観察及び結晶方位解析等も可能です。