透明導電膜のTEM観察事例

川崎技術支援部

溝の口

単結晶基板上に作製した透明導電膜の結晶性や析出物の有無などを断面方向から観察し、膜構造を明らかにしました。
明瞭な高分解能観察が求められるため、低エネルギーイオンミリングを用いて仕上げ加工を行いました。

分析透過電子顕微鏡（FE-TEM/EDS）
集束イオンビーム装置（FIB）
低エネルギーイオンミリング装置（Gentle Mill）

FIB-マイクロプロービング法による試料作製　　→　　低エネルギーイオンミリング　　→　　TEM観察

担当職員にお問い合わせください。

使用機器

観察条件および撮影枚数により費用は変わりますので、詳細は担当職員にお問い合わせください。
ご要望に応じて見積書を作成いたします。
NO.	項目	単位	料金
K120413-05	分析透過電子顕微鏡観察（FE-TEM/EDS）[EM002BF]　 50万倍を超えて200万倍以下	倍率　 50万倍を超えて200万倍以下　１視野につき	35,530
K120440-03	TEM試料調製　FIB-マイクロプロービング法　低加速ガリウムイオン	低加速ガリウムイオン仕上げ　１試料につき	122,100
K120437-03	TEM試料調製　低エネルギーイオンミリング　（ジェントルミル）	１試料１条件につき	14,850
K120413-07	分析透過電子顕微鏡観察（FE-TEM/EDS）[EM002BF]　 200万倍を超えるもの	倍率　200万倍を超えるもの　１視野につき	51,590

依頼試験（KISTEC事業名：試験計測）、委託受託（KISTEC事業名：技術開発受託）で利用できます。