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サービス・事例・機器検索
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ホール効果測定
試料に電圧を印可して電流測定を行うことで抵抗率（比抵抗）を評価します。また、磁場を印可することで伝導...
電子技術部
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- 性能評価
- 電気・電子製品
- #半導体特性評価
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光干渉式膜厚測定
半導体プロセスにおける各種膜を光学式により非接触で膜厚測定します。 【試験対象】 SiO2（酸...
電子技術部
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酸化拡散試験
酸素や水蒸気を利用し、Si（シリコン）ウェハへ熱酸化により、酸化膜の形成を行います。また、Siウエハ...
電子技術部
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- 電気・電子製品
- #薄膜作成・成膜
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低温光特性評価
クライオスタットを用いて５Kまでの極低温に冷却が可能です。ガラス窓を備えており、光学特性評価が可能で...
電子技術部
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半導体パラメータ測定
半導体デバイスアナライザを用いて半導体素子のI-V特性（電流と電圧の関係）やC-V特性（容量と電圧の...
電子技術部
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パワー半導体静特性試験
半導体カーブトレーサを用いて、高電圧・大電流に対応したパワー半導体素子のI-V特性などを測定します。
電子技術部
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クリーン雰囲気試験
電子技術部
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電子線リソグラフィ
電子線リソグラフィによる電子線レジスト樹脂への高精細パターン形成 【試験対象】 ウエハサイズ：...
電子技術部
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高精度フォトリソグラフィ
UV露光による感光性樹脂への高精度転写 両面パターンにも対応可 【試験対象】 ウエハサイズ：2...
電子技術部
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ＥＣＲプラズマエッチング
プラズマを用いるドライエッチング法の一つであり、この場合は、ECR (電子サイクロトロン共鳴) によ...
電子技術部
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アッシャーによるプラズマ処理
表面改質、有機物除去 【試験対象】 CF4プラズマ処理、酸素プラズマ処理例）レジスト残渣の除去...
電子技術部
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スパッタ成膜
薄膜の種物質(ターゲットという)にアルゴンイオンをぶつけて、その際にたたき出された種物質を基板に堆積...
電子技術部
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