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プラズマを用いるドライエッチング法の一つであり、この場合は、ECR (電子サイクロトロン共鳴)　によ...

電子技術部

• 設計加工
• 微細加工

• 電気・電子製品
• 電子材料

• #薄膜作成・成膜

UV露光による感光性樹脂への高精度転写 両面パターンにも対応可 【試験対象】　ウエハサイズ：2...

電子技術部

• 設計加工
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• 電気・電子製品
• 電子材料

• #薄膜作成・成膜
• #微細加工

空気清浄機によるたばこ煙成分の脱臭試験（JEM1467に準じた試験法）

川崎技術支援部

• 性能評価
• 光触媒評価

• 電気・電子製品
• 光触媒

• #空気浄化
• #JEM
• #光触媒

電子線リソグラフィによる電子線レジスト樹脂への高精細パターン形成 【試験対象】　ウエハサイズ：...

電子技術部

• 設計加工
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• 電気・電子製品
• 電子材料

• #薄膜作成・成膜
• #微細加工

電子技術部

• 半導体・実装
• 性能評価

• 電気・電子製品

• #薄膜作成・成膜

精密機械研磨装置（EM TXP）は光学顕微鏡、SEMおよびTEM用試料の切断・研磨のためのターゲット...

川崎技術支援部

• 材料観察
• 試料調製・前処理

• （材料共通）

• #微細加工

太陽電池のIPCE測定

川崎技術支援部

• 性能評価
• 太陽電池評価

• 太陽電池

• #太陽電池評価

太陽電池のI-V測定 一般に太陽電池の発電性能評価はI-V測定という手法が用いられます。 ...

川崎技術支援部

• 性能評価
• 太陽電池評価

• 太陽電池

• #太陽電池評価

低照度環境下におけるI-V測定 低照度環境におけるI-V測定を行います。

川崎技術支援部

• 性能評価
• 太陽電池評価

• 太陽電池

• #太陽電池評価

XeランプSSによる連続照射 Xe光源下での光照射を行います。

川崎技術支援部

• 性能評価
• 太陽電池評価

• 太陽電池

• #太陽電池評価

イオンミリング法は、イオンミリング装置を用いて、サンプルをアルゴンイオンビームで、イオン研磨すること...

川崎技術支援部

• 材料観察
• 試料調製・前処理

• （材料共通）

• #微細加工

イオンミリング法は、イオンミリング装置を用いて、サンプルをアルゴンイオンビームで、イオン研磨すること...

川崎技術支援部

• 材料観察
• 試料調製・前処理

• （材料共通）

• #微細加工