【募集終了】2018年度 第9回「ナノファブスクウエア」開催のご案内（会場：NANOBIC）
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第9回 金属薄膜形成（１） 講習・実習会
慶應義塾大学、早稲田大学、東京工業大学、東京大学からなる4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアムでは、川崎市、KISTECと連携し、産学連携による新しい技術や産業の創出を図るため、新川崎・創造のもりのナノ・マイクロ産学官共同研究施設『NANOBIC』において、4大学の先端機器の利用開放を行っています。
今後、4大学の機器を更に効果的にご利用いただくため、企業や大学の方を対象とした装置講習・実習会を開催しますのでご参加ください。
日 時
〇 ２０１８年１０月４日（木）
〇 １３：３０～１６：３０ ※講習１時間、実習２時間
場 所
〇 かわさき新産業創造センター（KBIC）新館 NANOBIC
川崎市幸区新川崎７-７ 新川崎・創造のもり（ＪＲ新川崎駅から徒歩１０分）
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講 師
〇 茂木 克雄 先生 （ 産業技術総合研究所 主任研究員 ）
実習内容
〇 プラズマを使った金属薄膜形成法の原理について講習します。
また、実際に装置を使った実習会も行います。
実習機器
〇 ECRイオンビームスパッタ成膜装置 EIS-230W† *
†エリオニクス株式会社製。金、アルミニウム、白金、チタン、クロムなどの薄膜を石英・ガラス・シリコンウエハなどの
基板上に形成できます。マイクロ流路内への電極作製などが可能です。
＊機器詳細仕様は「NANOBICオープンラボ」ホームページ http://open-labo.skr.jp/ の機器一覧をご覧下さい。
主 催
〇 4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
〇 (地独) 神奈川県立産業技術総合研究所
〇 川崎市
共 催
〇 次世代マイクロ化学チップコンソーシアム
定 員
〇 ５名程度（先着）
参加費
〇 １万円（実費）
申込書
〇 参加申込書
＊４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム ナノファブスクエア講習・実習会 （参加申込書）を
ダウンロードしていただき必要事項をご記入後、下記申込先のメールアドレスへお送りください。
申込先
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Tel ： 080-6560-3061／ E-mail ： karasawa＊newkast.or.jp
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※詳細および問合せはこちらのチラシをご覧ください。
※「ナノファブスクウェア」の年間スケジュールはこちら。