電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM/EDS）
最新の高性能電子光学系により、金属や半導体、セラミクス、有機物、磁性材料など様々な試料に対し、低倍率から高分解能観察まで行うことができる電子顕微鏡です。検出器を多数付属していることから組成像、凹凸像など様々な画像を取得することができます。元素分析装置も搭載しており、試料の元素同定や分布など有用な情報も得ることができます。
装置
電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM/EDS）
特徴
・光学顕微鏡では得られない焦点深度の深い観察が行えます。
・30倍から100万倍まで幅広い領域の観察が行えます。
・付属のEDS分析装置で試料の組成や分布がわかります。
・低真空モードを使用することで、絶縁材料等を無蒸着で観察することができます。
・STEM検出器を用いた透過像の観察が可能です。
・GBモードを使用すると、極低加速電圧で微細構造を観察することができます。
メーカー
日本電子株式会社
型式
JSM-7800F Prime
仕様
| 分解能 | 0.7nm（15kV）, 0.7nm（1kV） |
| 検出器 | 上方検出器（UED） 上方二次電子検出器（USD） 下方検出器（LED） 反射電子検出器（BED） |
| 試料サイズ | 最大100mm径 |
| EDS | NORAN System7 （サーモフィッシャーサイエンティフィック製） |
| 分析モード | 点分析, 線分析, 面分析 |
| 分析対象元素 | B～U |
| その他 | STEM観察, 低真空観察, GB観察 |
装置
電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM/EDS）
特徴
・材料の表面形態観察を30倍から80万倍の範囲で観察できます。
・光学顕微鏡に比べて焦点深度が深いので、凹凸のある試料でも観察が可能です。
・付属のEDSにより元素分析が可能ですので、付着物や変色部分などトラブルシューティングにおいても威力を発揮します。
・低加速電圧での高倍率観察や走査透過電子顕微鏡（STEM）観察が可能です。
メーカー
株式会社日立ハイテクノロジーズ
型式
S-4800
仕様
| 分解能 | 1.0nm（15kV） 1.4nm（1kVリターディングモード） |
| 検出器 | 二次電子検出器、反射電子検出器 |
| 試料サイズ | 最大100mm径 |
| EDS | Gnensis2000（EDAX製） |
| 分析モード | 点分析, 線分析, 面分析 |
| 分析対象元素 | B～U |
| その他 | 透過電子検出器, EBIC観察ユニット, リターディング観察 |