イオンミリングを活用した共晶ハンダの断面SEM観察事例

共晶ハンダの内部構造を調べるため、クライオイオンミリングにて作製した断面のSEM観察を行いました。

＜試料＞
Sn-Pb共晶ハンダ
＜使用機器＞
電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）
断面試料作製用イオンミリング装置

冷却なしではPbの界面が溶融化し、本来の解析が不可能となっています。