金めっき異常部の断面解析事例

金めっき上に確認された異常部の原因について、FIB-SEMを用いて調査しました。

＜試料＞
試料：Auめっき/Niめっき/Cu母材
＜使用機器＞
集束イオンビーム装置（FIB-SEM/EDS）

めっき異常部の表面観察&分析

→ 内部を観察するため、FIB断面加工へ

めっき異常部の断面加工

FIB-SEMにより断面を作製

めっき異常部断面のSEM観察

・付着物ではなく、内部から噴出した腐食生成物？
・金めっきに無数のボイドあり

めっき異常部の断面の元素分析（面分析）

めっきの異常部解析

～結果～
・異常部は付着物ではなく、めっき内部から噴出
・Auめっきに無数のボイドが存在
・Au/Ni界面にClを含むNi酸化物が存在

～推定原因～
・Auめっき前の洗浄不足によりClが残留？
・Auめっきのボイドから下地(Ni)へOが供給

　→異常部は腐食生成物がめっき表面に形成したもの