めっき表面に発生した変色部分の断面観察および分析

めっき表面に発生した変色部分の断面観察および分析をすることで、変色の原因を調査しました。

<試料>
Au/Ni/Cu基材
<使用機器>
集束イオンビーム装置(FIB-SEM/EDS)

図1 FIB加工による変色部までの加工の様子
図1 FIB加工による変色部までの加工の様子

②~⑤では何も見えませんが、⑥から徐々に何かが見えてくる様子がわかります。

図2 変色部の断面観察と分析結果
図2 変色部の断面観察と分析結果

定性分析の結果、A点からは塩素が検出され、B点とC点には特に異常は認められませんでした。
塩素が原因で腐食が進行したと考えられます。