FIB-マイクロサンプリング法によるTEM試料作製事例

透過電子顕微鏡(TEM)の観察は、観察対象とするサンプルを約100nm以下の厚さに加工しなければ電子が透過しないことから、観察、分析をすることができません。
集束イオンビーム装置(FIB)で観察対象を薄片化することにより、TEM試料を作製することができます。また、局所箇所をピンポイントで加工することも可能です。

<使用機器> 集束イオンビーム装置(FIB)
<納  期> 担当職員にお問い合わせください。
<マイクロサンプリング法 加工例>

マイクロサンプリング法 加工例1
マイクロサンプリング法 加工例2

ご利用を希望される方へ

今回のような集束イオンビーム装置(FIB)での加工、さらに、FIBでの試料作製に付随する低倍率での確認作業を実施した場合は、下記料金表が適用されます。詳細はお問い合わせください。

試験計測料金

料金NO.項目単位料金
K1625TEM試料調製 FIB-マイクロプロービング法 低加速ガリウムイオン低加速ガリウムイオン仕上げ 1試料につき111,980円
K1440電界放出型分析透過電子顕微鏡(FE-TEM)10万倍以下倍率 10万倍以下 1視野につき17,710円