FIB-マイクロサンプリング法によるTEM試料作製事例

透過電子顕微鏡（TEM）の観察は、観察対象とするサンプルを約100nm以下の厚さに加工しなければ電子が透過しないことから、観察、分析をすることができません。
集束イオンビーム装置（FIB）で観察対象を薄片化することにより、TEM試料を作製することができます。また、局所箇所をピンポイントで加工することも可能です。

＜使用機器＞　集束イオンビーム装置（FIB）
＜納　　期＞　担当職員にお問い合わせください。
＜マイクロサンプリング法　加工例＞