透明導電膜のTEM観察事例

単結晶基板上に作製した透明導電膜の結晶性や析出物の有無などを断面方向から観察し、薄膜の構造を明らかにしました。
通常のTEM観察より薄片化しなければ、高分解能観察ができないことから、低エネルギーイオンミリングを使用。

<使用機器>

分析透過電子顕微鏡(FE-TEM/EDS)
集束イオンビーム装置(FIB)
低エネルギーイオンミリング装置(Gentle Mill)

<作業工程>

FIB-マイクロプロービング法による試料作製  →  低エネルギーイオンミリング  →  TEM観察

<納期>

担当職員にお問い合わせください。

<測定例>

透明導電膜のTEM観察事例

ご利用を希望される方へ

今回のようなFE-TEM(分析透過電子顕微鏡)による透明導電膜の解析を実施した場合は、下記料金表が適用されます。
観察条件および撮影枚数により費用は変わりますので、詳細は担当職員にお問い合わせください。
ご要望に応じて見積書を作成いたします。

試験計測料金

料金NO.項目単位料金
K1625TEM試料調製 FIB-マイクロプロービング法 低加速ガリウムイオン低加速ガリウムイオン仕上げ 1試料につき111,980円
K1425TEM試料調製 低エネルギーイオンミリング (ジェントルミル)1試料1条件につき13,530円
K1440電界放出型分析透過電子顕微鏡(FE-TEM)10万倍以下倍率 10万倍以下 1視野につき17,710円
K1445電界放出型分析透過電子顕微鏡(FE-TEM)10万倍以下 1視野増倍率 10万倍以下 1視野増すごとに8,800円
K1441電界放出型分析透過電子顕微鏡(FE-TEM)10万倍を超えて50万倍以下倍率 10万倍を超えて50万倍以下 1視野につき23,430円
K1446電界放出型分析透過電子顕微鏡(FE-TEM)10万倍を超えて50万倍以下 1視野増倍率 10万倍を超えて50万倍以下 1視野増すごとに13,310円
K1450電界放出型分析透過電子顕微鏡(FE-TEM)50万倍を超えて200万倍以下倍率  50万倍を超えて200万倍以下 1視野につき32,340円
K1455電界放出型分析透過電子顕微鏡(FE-TEM)50万倍を超えて200万倍以下 1視野増倍率  50万倍を超えて200万倍以下 1視野増すごとに17,710円
K1451電界放出型分析透過電子顕微鏡(FE-TEM)200万倍を超えるもの倍率 200万倍を超えるもの 1視野につき46,860円
K1456電界放出型分析透過電子顕微鏡(FE-TEM)200万倍を超えるもの 1視野増倍率 200万倍を超えるもの 1視野増すごとに27,830円
K1460電界放出型分析透過電子顕微鏡(FE-TEM)試料傾斜調整試料傾斜調整 1条件ごとに12,210円