MOCVD法で作製したβ-FeSi2薄膜の結晶粒観察事例

単結晶基板上にMOCVD法で作製したβ-FeSi2膜の結晶性、結晶サイズ、膜厚を断面方向からの観察で明らかにしました。

<使用機器>

分析透過電子顕微鏡（FE-TEM）
集束イオンビーム装置（FIB）
低エネルギーイオンミリング装置（Gentle Mill）

<作業工程>

試料作製（FIB-マイクロサンプリング法）　　→　　低エネルギーイオンミリング　　→　　TEM観察

＜納期＞

担当職員にお問い合わせください。

＜測定例＞

ご利用を希望される方へ

今回のような結晶粒観察を実施した場合は、下記料金表が適用されます。
観察条件および撮影枚数により費用は変わりますので、詳細は担当職員にお問い合わせください。
ご要望に応じて見積書を作成いたします。

試験計測料金

料金NO.	項目	単位	料金
K1625	TEM試料調製　FIB-マイクロプロービング法 低加速ガリウムイオン	低加速ガリウムイオン仕上げ　１試料につき	111,980円
K1425	TEM試料調製　低エネルギーイオンミリング　（ジェントルミル）	１試料１条件につき	13,530円
K1472	電界放出型分析透過電子顕微鏡（FE-TEM）明視野像	明視野像　１視野につき	17,710円
K1473	電界放出型分析透過電子顕微鏡（FE-TEM）暗視野像	暗視野像　１視野につき	32,230円
K1470	電界放出型分析透過電子顕微鏡（FE-TEM）制限視野回折	制限視野回折　１視野につき	15,730円