微細構造解析分野

SEM、TEM、FIB等による材料の微細構造解析。機能発現のメカニズム解明サポートを行っています。

主な測定機器

機器名 メーカー・型式 概要

高分解能分析走査電子顕微鏡(FE-SEM/EDS)

日本電子株式会社 JSM-7800F Prime

最新の高性能電子光学系により、金属や半導体、セラミクス、有機物、磁性材料など様々な試料に対し、低倍率から高分解能観察まで行うことができる電子顕微鏡です。

電界放出型透過電子顕微鏡 FE-TEM(Topcon)

トプコンテクノハウス EM-002BF

数千倍から数百万倍まで、広範囲の倍率で試料の微細構造観察ができます。
EDS分析により数nmの分解能で元素分析が行うことができます。

FIB-SEM複合装置(FIB-SEM/EDS/EBSD)

日本エフイー・アイ株式会社 Scios LoVacシステム

最新のFIB-SEMです。局所領域の断面加工と観察、TEM試料作製、三次元解析を行うことが可能です。本装置は高性能電子光学系を有したSEMを搭載しているため、金属、セラミックス、有機物など様々な試料から多様な情報を得ることができます

2.分析事例

機器名 使用機器

FE-SEMによる観察事例
(磁気フィルム、粘着テープ、金属酸化物チタン、備長炭)

高分解能分析走査電子顕微鏡(FE-SEM)

TiO2ナノチューブの電子顕微鏡観察事例

高分解能分析走査電子顕微鏡(FE-SEM)

ミクロトームを活用したHIPS(耐衝撃性ポリスチレン)の観察事例

高分解能分析走査電子顕微鏡(FE-SEM)
ウルトラミクロトーム