微細構造解析分野
SEM、TEM、FIB等による材料の微細構造解析。機能発現のメカニズム解明サポートを行っています。
主な測定機器
機器名 | メーカー・型式 | 概要 |
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高分解能分析走査電子顕微鏡(FE-SEM/EDS) |
日本電子株式会社 JSM-7800F Prime |
最新の高性能電子光学系により、金属や半導体、セラミクス、有機物、磁性材料など様々な試料に対し、低倍率から高分解能観察まで行うことができる電子顕微鏡です。 |
電界放出型透過電子顕微鏡 FE-TEM(Topcon) |
トプコンテクノハウス EM-002BF |
数千倍から数百万倍まで、広範囲の倍率で試料の微細構造観察ができます。 |
FIB-SEM複合装置(FIB-SEM/EDS/EBSD) |
日本エフイー・アイ株式会社 Scios LoVacシステム |
最新のFIB-SEMです。局所領域の断面加工と観察、TEM試料作製、三次元解析を行うことが可能です。本装置は高性能電子光学系を有したSEMを搭載しているため、金属、セラミックス、有機物など様々な試料から多様な情報を得ることができます |
2.分析事例
機器名 | 使用機器 | |
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FE-SEMによる観察事例 |
高分解能分析走査電子顕微鏡(FE-SEM) |
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TiO2ナノチューブの電子顕微鏡観察事例 |
高分解能分析走査電子顕微鏡(FE-SEM) |
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ミクロトームを活用したHIPS(耐衝撃性ポリスチレン)の観察事例 |
高分解能分析走査電子顕微鏡(FE-SEM) |