令和8年度 ナノファブスクエア｜ナノ・マイクロ技術の講習・実習会
ナノファブスクエアin海老名について
慶應義塾大学、早稲田大学、東京科学大学、東京大学からなる4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアムでは、 川崎市、KISTECと連携し、産学連携による新しい技術や産業の創出を図るため、新川崎・創造のもりのナノ・マイクロ産学官共同研究施設『NANOBIC』(NANOBICオープンラボのHPにリンクします)において、4大学の先端機器によるナノファブスクエアを開催しています。ナノファブスクエアでは、マイクロ流路の一連の試作を、シリコン、ガラス、樹脂を使い実施し、表面形態の観察・評価までを行うプログラムにより目的に応じた受講が可能です。
ナノファブスクエアin海老名では、4回の講習・実習会を開催し、「首都圏地下鉄路線網シリコンマイクロ流路」をモデルチップとし、シリコン酸化、シリコン異方性エッチング、ナノパターン形成および陽極接合について学ぶことができます。（ナノファブスクエア全18回のうち、第２、４、６および８回を当所で開催いたします。）
第２回シリコン酸化
シリコン基板への熱酸化法による薄膜形成を体験し、熱酸化膜の形成について学びます。形成した熱酸化膜は、「第4回シリコン異方性エッチング」の研修で活用します。
第４回シリコン異方性エッチング
シリコン基板上に、熱酸化膜をマスクとして、異方性ウェットエッチングによるマイクロ流路パターンを形成します。
第６回陽極接合
ガラスとマイクロ流路を形成したシリコン基板を陽極接合する講義・実習を行います。陽極接合は、シリコンMEMSチップ実装の封止に使用される技術です。
第８回ナノパターン形成
シリコン基板に塗布されたレジストに、電子線描画によりハーフピッチ200nmのパターンを形成します。
第２回 令和8年6月19日（金）13：30～16：30
第４回 令和8年6月25日（木）13：30～16：30
第６回 令和8年7月10日（金）13：30～16：30
第８回 令和8年7月21日（火）13：30～16：30
海老名で開催する4回は、日本工学会ECE認定プログラムの『バルクマイクロマシニングコース」に該当し、
全4回を受講することで認定証をお渡しすることができます。
詳細（各回共通）
- 会場 地方独立行政法人神奈川県立産業技術総合研究所 海老名本部
- 受講料 各回16,000円（税込）
- 定員 各回5名（先着順）
- 主催 ○４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
〇川崎市
〇地方独立行政法人神奈川県立産業技術総合研究所
講師
- 第２回 塩尻 大士（KISTEC電子技術部）
- 第４回 黒内 正仁（KISTEC電子技術部）
- 第６回 安井 学 （KISTEC電子技術部）
- 第８回 黒内 正仁（KISTEC電子技術部）
装置
- 第２回 酸化炉
- 第４回 ドラフト
- 第６回 陽極接合装置
- 第８回 電子線描画装置
受講料支払い方法
原則、開催1週間前を目処に請求書を郵送いたします。
請求書に記載されている指定の口座に、開講日までにお振り込みください。
開講日までのお振り込みが難しい場合は、事務局までご連絡ください。
リーフレット
キャンセルについて
キャンセルをご希望される場合は、次の日程までに事務局にご連絡ください。
誠に恐縮ですが、受講料お振り込み後のご返金には応じられません。
何卒ご理解くださいますようお願いいたします。
第２回 令和8年6月11日（木）
第４回 令和8年6月18日（木）
第６回 令和8年7月2日（木）
第８回 令和8年7月14日（火）
確認事項＜重要＞
次の事項をご確認の上、お申込みください。
- 申込締切後、受講決定者には受講料請求書等の必要書類を郵送いたします。
- 許可なく講義内容の一部、およびすべてを複製、転載または撮影、配布、印刷など、第三者の利用に供することを禁止します。
- やむを得ない事情により、日程・内容等の変更や中止をする場合があります。
- 保証書必要事項をご記入の上、参加日当日にご持参ください。【保証書はこちら】
- 当日は13:15より受付開始とさせていただきます。
お問合せ
（地独）神奈川県立産業技術総合研究所 人材育成部 教育研修課 産業人材研修グループ TEL 046-236-1500 Eｰmail sm_sangyoujinzai★kistec.jp ※★を＠に変換してください。