エレクトロニクス・表面技術フォーラム

KISTEC Innovation Hub 2024 フォーラム番号:E13-3

エレクトロニクス・表面技術フォーラム
(表面技術協会関東支部 共催)


公設試における微細加工を用いた光学デバイス、真空計、親水性機能表面などの開発事例紹介

東京都立産業技術センターからは、電子線リソグラフィで作製したナノギャップ電極の応用事例と、フォトリソグラフィ技術を利用した高集光効率のマイクロレンズアレイやマイクロメートルスケールで集積化したバンドパスフィルターの開発事例を紹介します。また、KISTECからは、電子線リソグラフィを用いたナノインプリント用金型の作製の事例を紹介します。

日時・開催方法


日時

11月13日(水)
13:00~15:00

開催方法

対面開催

定員

30名

会場

KISTEC海老名本部
3階 講義室3-7,8,9

会場へのアクセス方法

フォーラム詳細


時間タイトル講師名講師所属
13:00-13:05開会挨拶
13:05-13:25ナノギャップデバイスによる真空度測定の検討小宮 一毅東京都立産業技術研究センター
13:25-13:45都産技研における微小光学素子の試作事例
~マイクロレンズアレイ・マイクロフィルタアレイ~
宮下 惟人東京都立産業技術研究センター
13:45-14:15KISTECにおける微細加工技術を用いた機能性表面の作製安井 学KISTEC 電子技術部
14:15-15:00KISTECにおける微細加工関連装置と評価系装置の見学KISTEC職員

共催


一般社団法人 表面技術協会関東支部

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